Главная » Книги » Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе (pdf)
18:32
Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе (pdf)
Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.
Название: Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе Автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б. Издательство: Энергия Год: 1979 Страниц: 88 Формат: pdf Размер: 37 Мб Качество: хорошее Язык: русский
Скачать Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
